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El hidróxido de cesio monohidratado (CsOH), CAS 35103-79-8, es un compuesto químico compuesto por iones de cesio e iones de hidróxido. Es una base fuerte ( pKa = -1,76), al igual que otros hidróxidos de metales alcalinos, como el hidróxido de sodio y el hidróxido de potasio. De hecho, el hidróxido de cesio es lo suficientemente corrosivo como para atravesar el vidrio rápidamente.
Debido a su alta reactividad, el hidróxido de cesio es extremadamente higroscópico. En el laboratorio, el hidróxido de cesio suele ser un hidrato.
Es un agente de grabado anisotrópico de silicio que expone planos octaédricos. Esta técnica permite formar pirámides y fosas de grabado de forma regular para usos como sistemas microelectromecánicos. Se sabe que presenta una mayor selectividad para grabar silicio altamente dopado con p que el hidróxido de potasio, más comúnmente utilizado.
Este compuesto no se utiliza habitualmente en experimentos debido al alto coste de extracción del cesio y a su comportamiento reactivo. Actúa de forma similar a los compuestos hidróxido de rubidio e hidróxido de potasio, aunque es más reactivo.
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