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水酸化セシウム一水和物(CsOH)CAS番号35103-79-8は、セシウムイオンと水酸化物イオンからなる化合物です。水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどの他のアルカリ金属水酸化物と同様に、強塩基(pK b =-1.76)です。実際、水酸化セシウムはガラスを急速に腐食させるほどの腐食性を持っています。
水酸化セシウムは反応性が高いため、極めて吸湿性が高い。実験室で用いられる水酸化セシウムは、通常、水和物である。
これはシリコンの異方性エッチング液であり、八面体面を露出させます。この技術は、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)などの用途において、ピラミッド型や規則的な形状のエッチピットを形成できます。一般的に使用される水酸化カリウムよりも、高pドープシリコンのエッチング選択性が高いことが知られています。
この化合物は、セシウムの抽出コストの高さと反応性の高さから、実験にはあまり使用されていません。水酸化ルビジウムや水酸化カリウムといった化合物と似た作用をしますが、より反応性が高いです。