Cäsiumhydroxid-Monohydrat (CsOH, CAS 35103-79-8) ist eine chemische Verbindung aus Cäsium- und Hydroxidionen. Es ist eine starke Base (pK b = -1,76), ähnlich wie andere Alkalimetallhydroxide wie Natriumhydroxid und Kaliumhydroxid. Tatsächlich ist Cäsiumhydroxid so ätzend, dass es Glas schnell zersetzt.
Aufgrund seiner hohen Reaktivität ist Cäsiumhydroxid extrem hygroskopisch. Im Labor liegt Cäsiumhydroxid typischerweise als Hydrat vor.
Es handelt sich um ein anisotropes Ätzmittel für Silizium, das Oktaederflächen freilegt. Mit diesem Verfahren lassen sich Pyramiden und regelmäßig geformte Ätzgruben erzeugen, beispielsweise für Anwendungen in mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). Es weist eine höhere Selektivität beim Ätzen von hoch p-dotiertem Silizium auf als das häufiger verwendete Kaliumhydroxid.
Diese Verbindung wird aufgrund der hohen Extraktionskosten von Cäsium und seines reaktiven Verhaltens selten in Experimenten verwendet. Sie verhält sich ähnlich wie Rubidiumhydroxid und Kaliumhydroxid, ist jedoch reaktiver.
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