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L'hydroxyde de césium (CsOH) est un composé chimique constitué d'ions césium et d'ions hydroxyde. C'est une base forte (pK b = -1,76), à l'instar des autres hydroxydes de métaux alcalins tels que l'hydroxyde de sodium et l'hydroxyde de potassium. En effet, l'hydroxyde de césium est suffisamment corrosif pour corroder rapidement le verre.
En raison de sa forte réactivité, l'hydroxyde de césium est extrêmement hygroscopique. L'hydroxyde de césium utilisé en laboratoire est généralement un hydrate.
Il s'agit d'un agent de gravure anisotrope du silicium, exposant les plans octaédriques. Cette technique permet de former des pyramides et des cavités de gravure de forme régulière, utiles notamment pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS). Elle présente une sélectivité supérieure à celle de l'hydroxyde de potassium, plus couramment utilisé, pour la gravure du silicium fortement dopé p.
Ce composé est rarement utilisé en expérimentation en raison du coût élevé d'extraction du césium et de sa réactivité. Son comportement est similaire à celui de l'hydroxyde de rubidium et de l'hydroxyde de potassium, bien qu'il soit plus réactif.
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